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JIB-4000PLUS 聚焦离子束加工观察系统

产品简介

JIB-4000PLUS 聚焦离子束加工观察系统配置了高性能的离子镜筒(单束FIB装置)。 被加速的镓离子束经聚焦照射样品后,能对样品表面进行SIM观察 、研磨、及碳和钨等沉积。还可以为TEM制备薄膜样品,为观察样品内部制备截面样品。 该设备能配置3D观察功能、自动TEM样品制备功能,能对应多种制样需求。

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更新时间:2024-01-06
厂商性质:代理商
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品牌其他品牌价格区间面议
产地类别国产应用领域化工,电子,综合
  • JIB-4000PLUS 聚焦离子束加工观察系统配置了高性能的离子镜筒(单束FIB装置)。 被加速的镓离子束经聚焦照射样品后,能对样品表面进行SIM观察 、研磨、及碳和钨等沉积。还可以为TEM制备薄膜样品,为观察样品内部制备截面样品。 该设备能配置3D观察功能、自动TEM样品制备功能,能对应多种制样需求。

  • JIB-4000PLUS 聚焦离子束加工观察系统高性能FIB镜筒

  • JIB-4000PLUS采用高性能的FIB镜筒,最大离子束流高达 60 nA,可以扩展到90nA大束流(为可选件),能进行快速研磨。大电流下的快速加工尤其适合于大面积的研磨,100 μm以上的大截面也可以在短时间内制成。

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图1  100μm 直径焊料凸块的截面制备和截面观察


  • 用户友好的FIB装置

  • JIB-4000PLUS高性能的 FIB镜筒具有出色的可操作性,外观和GUI设计都很友好。 即使没用过FIB也能够轻松操作; 此外,该装置小巧紧凑为业界最小体积,安装场所的选择范围很大。

  • 双样品台

  • JIB-4000PLUS标配的块状样品马达驱动样品台可供块状样品使用,此外还可以增配侧插式测角台(TEM用Tip-on 样品架可以直接插入)。侧插式测角台与JEOL的TEM系统通用,这样,FIB加工和TEM观察的反复交替就能很容易地进行。

  • 3D观察功能

  • 为了进行3D观察,设备标配连续切片截面观察功能。JIB-4000PLUS虽然是单束FIB,但是可以通过SIM像进行3D观察。用3D重构软件,可以将收集到的截面图像重建为3D图像,可以从各种角度显示3D图像。

  • 1749_02.jpg

  • 2  CCD imaging center 3D重构图


  • 自动TEM制样功能

  • 自动TEM制样功能 "STEMPLING" 是选配件。有了这个功能,制样不需要有很高的技能,任何人都能简单地制样,也可以对多个样品自动制样,提高工作效率。

 

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图3  自动TEM制样功能 (STEMPLING) 的加工例    样品:焊料


  • 丰富的附件

  • 有各种附件可用来支持JIB-4000的操作。包括对电路修改应用特别有效的CAD导航系统,对特殊形状加工有效的矢量扫描系统等。通过给JIB-4000安装适当的附件,该系统可以支持样品制备以外的应用。


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