ROHS金属成分分析仪(SXES :Soft X-Ray Emission Spectrometer)通过组合新开发的衍射光栅和高灵敏度Ｘ射线CCD相机，实现了高的能量分辨率。 和EDS一样可以并行检测，并且能以0.3eV(费米边处Al-L基准)的高能量分辨率进行分析，超过了WDS的能量分辨率。

软X射线分析谱仪(SXES :Soft X-Ray Emission Spectrometer)通过组合新开发的衍射光栅和高灵敏度Ｘ射线CCD相机，实现了高的能量分辨率。 和EDS一样可以并行检测，并且能以0.3eV(费米边处Al-L基准)的高能量分辨率进行分析，超过了WDS的能量分辨率。

JXA-iHP200F 场发射电子探针显微分析仪在保持高局部微量元素分析性能的同时，追求每个人都能简单快速地使用好仪器。该仪器能更加有效地进行观察分析和操作，是更先进的一体化集成FE-EPMA。

JXA-iSP100 电子探针显微分析仪在保持高局部微量元素分析性能的同时，追求每个人都能简单快速地使用好仪器。该仪器能更加有效地进行观察分析和操作，是更先进的一体化EPMA。