InTouchScope™ 热场发射扫描电子显微镜

InTouchScope™ 热场发射扫描电子显微镜日常使用的SEM，好用！

随着技术的不断创新，观察的样品也越来越小，微小样品的测定已经常态化。 基于此，浸没式热场发射扫描电子显微镜InTouchScope™系列 JSM-IT700HR诞生了。

该设备最高分辨率1nm、最大探针电流300nA（之前的15倍），可提供丰富的观测和分析信息，用户界面操作简单、设计紧凑、配备大样品室。

■  InTouchScope™ 热场发射扫描电子显微镜视频介绍

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■  Zeromag & Autofunctions

      放大光学图像，无缝过渡到SEM图像

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Zeromag具有将样品台图像、光学像和SEM像联动的功能，样品台上有多个样品和观察特定区域时，很容易搜寻视野。

※若显示光学像，需要选件样品台导航系统SNS

■  Integrated EDS & Live Analysis

      一体化EDS和实时分析

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SEM操作界面上有EDS分析操作，观察分析无障碍。Live Analysis具有实时显示特征X线谱图功能。

■  SMILE VIEW™ Lab

      快速生成数据报告

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JEOL的数据管理工具。 光学像、SEM像、EDS分析结果一并保存。报告书一键生成。

也可以离线解析※1。

※1　需要离线分析软件   ※2　需要安装Microsoft®Office

■  信号深度显示

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在操作导航GUI里增加了【信号深度显示】功能，实时了解在测样品的分析深度（参考），有效用于元素分析中。

■  自动电子束对中 (ABA)

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电子束的轴偏离时，自动调整对中功能

■  用蒙太奇功能进行广域观察与分析

蒙太奇结果 6x6（左：背散射电子像、右：Cu元素map像 ）

样品：黄铜螺钉的平面刻蚀横截面*、 加速电压：20 kV、低真空模式 (20 Pa)、取像：6.4 mm × 4.8 mm

*机械研磨后、用IB-19530CP进行平面刻蚀加工

蒙太奇就是一种拼接功能，能够将广域内采集到的所有图像拼接成一个高清图像。此功能对于获取大面积详细信息非常有用。